Naujienos

Apie seminarą

Pranešimai

Dalyviai

Apie lazerius

Akimirkos

Nuorodos

Kontaktai

 
 

Puslapis atnaujintas

2009-11-20 09:25:16

Top100.lt
Skaitiklis sukasi

nuo 2003 11 04

Čia visada rasite buvusių ir būsimų pranešimų temas bei turinį

img

Pavadinimas: Lazeriu indukuotos plazmos vandens laưeliuose pagrindu veikiantys EUV spinduliuotƫs ưaltiniai

Pranešėjas: Andrius ƞukauskas

Pranešimo data: 2006-05-25

Skaidrė parsisiuntimui: Nėra

Trumpas pranešimo aprašymas:

Lazeriu indukuota plazma pripaĆ¾Ć”stama labai palankiu EUV spinduliuotĆ«s Ć°altiniu litografijai ir kitiems taikymams. SpinduliuotĆ«s Ć°altiniai, kuriuose taikinys - vandens ĆØiurkĆ°lĆ«, palyginti pigĆ»s, kompaktiĆ°ki ir efektyvĆ»s, be to jĆø veikimas nĆ«ra ribotas laike, o optiniai komponentai, esantys arti plazmos nĆ«ra jautrĆ»s taikinio garams.

Atgal Grįžti į seminaro pranešimų sąrašą

  kitas_pranesimas Greitai bus ...  
 
© Vilniaus Universiteto Lazerinių Tyrimų Centras 2003, Saulėtekio al. 10, Vilnius

Valid HTML 4.01!