Čia visada rasite buvusių ir būsimų pranešimų temas bei turinį
 | Pavadinimas: Lazeriu indukuotos plazmos vandens laưeliuose pagrindu veikiantys EUV spinduliuotƫs ưaltiniai
Pranešėjas: Andrius Ćukauskas
Pranešimo data: 2006-05-25
Skaidrė parsisiuntimui: Nėra
|
Trumpas pranešimo aprašymas:
Lazeriu indukuota plazma pripaĆ¾Ć”stama labai palankiu EUV spinduliuotĆ«s Ć°altiniu litografijai ir kitiems taikymams. SpinduliuotĆ«s Ć°altiniai, kuriuose taikinys - vandens ĆØiurkĆ°lĆ«, palyginti pigĆ»s, kompaktiĆ°ki ir efektyvĆ»s, be to jĆø veikimas nĆ«ra ribotas laike, o optiniai komponentai, esantys arti plazmos nĆ«ra jautrĆ»s taikinio garams.
Grįžti į seminaro pranešimų sąrašą
Greitai bus ...
